Microelectromechanical systems (MEMS) are evolving into highlyintegrated technologies for a variety of application areas. Add thebiological dim...
内容主要包括：RF MEMS器件的静态、动态和电磁模型；MEMS开关的制备、封闭、可靠性及功率处理能力；MEMS开关的电路设计；MEMS移相器、变容器、可调谐 振荡器和电感器；...
本书是目前国内外唯一叙述集成化MEMS的专著。CMOS电路技术是当今微电子的主流技术，本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用。
本书为高等学校电子信息类规划教材。主要内容为：电力半导体器件、半导体敏感器件、光子器件、半导体微波器件等四个方面。
