本书系统地介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识，内容包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、设计方法、加工工艺、表面特性、检测技术、主要应...
本书以各种微型阀、微型泵、微型马达、压电元器件的制造为目的，阐述其功能，所依据的物理原理及定律。本书还详细介绍了电学，热学和力学有限元方法的要领，相关软件的使...
本书主要内容包括：微机电系统和射频、MEMS材料和制造工艺、RF开关与微型继电器、MEMS电感和电容、微电机RF滤波器、微机械移相器、微机械传输线及部件、微机械天线、RF M...
Microelectromechanical systems (MEMS) are evolving into highlyintegrated technologies for a variety of application areas. Add thebiological dim...
Microelectromechanical Systems (MEMS) stand poised for thenext major breakthrough in the silicon revolution that began withthe transistor in the 1960s and has revolutionizedmicroelectronics.
Ultrasmall Radio Frequency and Micro-waveMicroelectromechanical systems (RF MEMs), such as switches,varactors, and phase shifters, exhibit nearl...
An up-to-date guide to the theory and applications of RF MEMS.With detailed information about RF MEMS technology as well as itsreliability and applications, this is a comprehensive resource forprofessionals, researchers, and students alike.
本书适合从事混合微波集成电路（HMIC）研发的设计工程师、工艺工程师和材料工程师阅读，也适合作为高等学校电子工程、微电子和微波工程专业高年级大学生和研究生的教学参...
本书是“雷达技术丛书”中的一册。其主要读者对象为从事雷达结构和工艺技术工作的研究、设计、制造、使用、操作、维护等方面的科研人员、工程技术人员和部队官兵，同时也...
