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多晶硅薄膜低温生长中的表面反应控制
摘要： 报道用SiF4和H2的间接微波等离子体化学气相沉积方法低温生长多晶硅(poly-Si)薄膜.实验发现,等离子体中的离子、荷电集团对薄膜生长表面的轰击是影响薄膜结晶质量的...
更新时间：2013-03-14星级：大小：252KB -
微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法沉积氟化非晶碳薄膜的研究
使用三氟甲烷和苯的混合气体,利用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法制备了F/C比在0.11—0.62之间的α-C∶F薄膜.
更新时间：2013-03-14星级：大小：336KB -
介质谐振器法测量高温超导薄膜微波表面电阻的误差分析
用微扰法研究了两端接地型蓝宝石介质谐振器测量高温超导薄膜微波表面电阻RS的误差与几何结构和工作频率的关系.
更新时间：2013-03-14星级：大小：157KB -
电流变液的微波透射调控行为
依据外电场作用下电流变液结构由各向同性转变为各向异性及介电性能改变的实验事实,建立了微波穿透电流变液样品的理论模型,导出了微波透射率的基本表达形式.
更新时间：2013-03-13星级：大小：234KB -
微波等离子体化学气相沉积法制备C3N4薄膜的结构研究
采用微波等离子体化学气相沉积法,用高纯氮气(99.999%)和甲烷(99.9%)作反应气体,在单晶Si(100)基片上沉积C3N4薄膜.
更新时间：2013-03-13星级：大小：215KB -
GaAs/AlGaAs异质结动力学行为研究
建立在空间电荷转移框架下,考虑GaAs/AlGaAs异质结物理模型,推导相应动力学方程,比较详细地分析了系统随激励电场变化出现的复杂分支情况.
更新时间：2013-03-13星级：大小：334KB -
p型半导体金刚石膜的磁阻效应
在p型硅(100)衬底上,采用衬底负偏压微波等离子体CVD方法进行了p型异质外延金刚石膜的生长.用O2等离子体刻蚀技术将金刚石膜刻蚀成长条形,利用四探针法在0—5T的磁场范围内...
更新时间：2013-03-13星级：大小：266KB -
微波输入功率引起a-C∶F薄膜交联结构的增强
使用C2H2和CHF3的混合气体,在改变微波功率的条件下,利用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积方法制备了氟化非晶碳薄膜(aC∶F).薄膜的傅里叶变换红外光谱分析结果表...
更新时间：2013-03-13星级：大小：221KB -
氟化非晶碳薄膜的光学带隙分析
研究了CHF3C6H6沉积的氟化非晶碳(αC∶F)薄膜的光学带隙.发现αC∶F薄膜光学带隙的大小取决于薄膜中C—F,CC的相对含量.
更新时间：2013-03-12星级：大小：167KB
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