电子回旋共振等离子体源的数值模拟

物理学报  2000, Vol. 49  Issue (3): 497-501

胡希伟1, 邬钦崇2, 俞国扬2, 刘明海3
(1)中国科学技术大学近代物理系,合肥230026; (2)中国科学院等离子体物理研究所,合肥230031; (3)中国科学院等离子体物理研究所,合肥230031 中国科学技术大学近代物理系,合肥230026
 
Hu Xi-Wei1, Wu Qin-Chong2, Yu Guo-Yang2, Liu Ming-Hai3

摘要： 采用自洽微波功率吸收的二维混合模型,对电子回旋共振等离子体源中的各种物理参量(电离速率、等离子体密度、位势、电子温度)进行数值模拟.结果表明:等离子体参数随运行条件(中性气压和微波功率)变化呈现出区域特征、饱和现象和振荡行为等非线性现象

引用本文:   
刘明海,胡希伟,邬钦崇 等 . 电子回旋共振等离子体源的数值模拟. 物理学报, 2000, 49(3): 501. 
Cite this article:   
Liu Ming-Hai,Hu Xi-Wei,Wu Qin-Chong et al. . Acta Phys. Sin., 2000, 49(3): 497-501. 

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