AlN薄膜腔声谐振滤波器的设计与制备

无线通信技术的迅猛发展对频率器件提出了微型化、低功耗、高性能等要求。传统 射频频率器件的解决方案主要是微波介质陶瓷和声表面波(SAW)技术。前者虽有较好 的性能，但体积太大；后者体积虽小，但存在着工作频率不高、插入损耗较大、功率容 量较低等缺点。薄膜体声波谐振滤波器(FBAR filter)既综合了介质陶瓷性能优越和SAW 体积较小的优势，又克服两者的缺点，其工作频率高、功率容量大、损耗低、体积小， 是目前唯一有望集成的射频滤波器技术，正成为国内外研究的热点。

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