基于MEMS 技术的微波滤波器研究进展

基于MEMS技术的滤波器是现行RF 结构中一个关键的MEMS器件。与传统的采用金属 矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比,MEMS滤波器具有低损耗、高隔离度、线性好、体积小、易于集成等优点。对利用MEMS 技术制作的滤波器做了分类总结, 综述了近几年 MEMS 滤波器的研究进展, 包括硅体微加工滤波器、LIGA 传输线型滤波器和基于MEMS 开关/电 容实现的可调滤波器。指出可调滤波器的开发适应微波、毫米波波段的多频段、宽带无线通信系统的迫切需要, 具有重要的现实意义。

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