射频集成软磁薄膜器件分析

Analyses of Radio Frequency(RF) Integrated Soft Magnetic Film Devices

文章首先介绍了在行波场存在的情况下，怎样对射频直到6GHz 频率范围内的金属软磁薄膜的磁导率进行测量。然后，在软磁薄膜复数磁导率分布图的基础上，系统地论述了金属软磁薄膜在射频频段范围内的应用。这种磁膜用在工作频率为2GHz 的绕有4 匝尺寸为200×400(μm2) 矩形螺旋线圈的铁磁射频集成电感器及在AC 场中，灵敏度为4.8×10-6Am-1/ HZ (6×10-12T/ HZ ) 的高频载波型薄膜磁场传感器（也被称为GMI 传感器）时具有最佳性能：L=7.9nH 和Q=12.7。文章对这两种磁器件进行了详细分析。