微电子所“固态射频电源系统”项目荣获第七届国际发明展银奖

11月9日至12日，第七届国际发明展览会暨国际教学新仪器和新设备展览会在昆山举行，微电子所“固态射频电源系统”和“45-22nm集成式光学临界尺度（OCD）在线检测设备”两个项目获得“银奖”。